Običajno uporabljeni polprevodniški senzor tlaka uporablja silicijeve rezine tipa N kot substrat.Prvič, silicijeva rezina je narejena v elastičen del, ki nosi napetost, z določeno geometrijo.Na delu silicijeve rezine, ki nosi napetost, so vzdolž različnih kristalnih smeri izdelani štirje difuzijski upori tipa P, nato pa se s temi štirimi upori oblikuje štirikraki Wheatstonov most.Pod delovanjem zunanje sile spremembe vrednosti upora postanejo električni signali.Ta wheatstonov most s tlačnim učinkom je srce senzorja tlaka, ki se običajno imenuje piezoresistivni most (kot je prikazano na sliki 1).Značilnosti piezorezivnega mostu so naslednje: ① vrednosti upora štirih krakov mostu so enake (vsi r0);② Piezorezistenčni učinek sosednjih krakov mostu je enak po vrednosti in nasprotnega predznaka;③ Temperaturni koeficient upora štirih krakov mostu je enak in imajo vedno enako temperaturo.Na sl.1, R0 je vrednost upora brez napetosti pri sobni temperaturi;RT je sprememba, ki jo povzroči temperaturni koeficient upora (α), ko se temperatura spremeni;Υ Rδ je sprememba upora zaradi deformacije (ε);Izhodna napetost mostu je u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (most s konstantnim tokom).

Kjer je I0 tok vira konstantnega toka in e napetost vira konstantne napetosti.Izhodna napetost piezorezistivnega mostu je neposredno sorazmerna z deformacijo (ε) in nima nič skupnega z RT, ki ga povzroča temperaturni koeficient upora, kar močno zmanjša temperaturni odmik senzorja.Najbolj razširjen polprevodniški senzor tlaka je senzor za zaznavanje tlaka tekočine.Njegova glavna struktura je kapsula iz monokristalnega silicija (kot je prikazano na sliki 2).Diafragma je narejena v skodelico, dno skodelice pa je del, ki nosi zunanjo silo, tlačni most pa je narejen na dnu skodelice.Podstavek obroča je izdelan iz istega monokristalnega materiala iz silicija, nato pa je diafragma pritrjena na podstavek.Ta vrsta senzorja tlaka ima prednosti visoke občutljivosti, majhne prostornine in trdnosti ter se pogosto uporablja v letalstvu, vesoljski navigaciji, instrumentih za avtomatizacijo in medicinskih instrumentih.