Pogosto uporabljen polprevodniški tlačni senzor uporablja silicijevo rezino tipa N tipa kot substrat. Prvič, silicijeva rezina je narejena v elastični del, ki nosi stres z določeno geometrijo. Na delu, ki nosi stres, se po različnih kristalnih smerih izdelujejo štirje difuzijski upori P-tipa, nato pa se s temi štirimi upori oblikujejo s štirimi ročastimi mostom. Pod delovanjem zunanje sile spremembe vrednosti upora postanejo električni signali. Ta most iz pšeničnega kamna s pritiskom je srce tlačnega senzorja, ki se običajno imenuje piezoresistivni most (kot je prikazano na sliki 1). Značilnosti piezoresistivnega mostu so naslednje: ① Vrednosti uporov štirih rok mostu so enake (vse R0); ② Piezoresistični učinek sosednjih rok mostu je v vrednosti in nasprotno v znamenju; ③ Koeficient temperature odpornosti štirih rok mostu je enak in so vedno pri isti temperaturi. Na sl. 1, R0 je vrednost upora brez stresa pri sobni temperaturi; RT je sprememba, ki jo povzroči temperaturni koeficient odpornosti (α), kadar se temperatura spremeni; Υ rδ je sprememba upora, ki jo povzroča sev (ε); Izhodna napetost mostu je u = i0 Δ rδ = i0rgδ (konstantni izvorni most).

Kjer je i0 konstantni tok toka in E je konstantna napetost napetosti napetosti. Izhodna napetost piezoresistivnega mostu je neposredno sorazmerna s sevom (ε) in nima nobene zveze z RT, ki jo povzroča temperaturni koeficient upora, kar močno zmanjša temperaturni premik senzorja. Najpogosteje uporabljen senzor polprevodniškega tlaka je senzor za zaznavanje tlaka tekočine. Njegova glavna struktura je kapsula iz monokristalnega silicija (kot je prikazano na sliki 2). Diafragma je narejena v skodelico, dno skodelice pa je del, ki nosi zunanjo silo, tlačni most pa je narejen na dnu skodelice. Obroč podstavka je izdelan iz istega silicijevega enojnega kristalnega materiala, nato pa je diafragma vezana na podstavek. Ta vrsta tlačnega senzorja ima prednosti visoke občutljivosti, majhne volumne in trdnosti in se pogosto uporablja v letalstvu, vesoljski navigaciji, avtomatizaciji in medicinskih instrumentih.