Tlačni senzor je eden bolj pogostih senzorjev. Tradicionalni tlačni senzor je predvsem naprava mehanske strukture, deformacija elastičnega dela pa kaže na tlak. Vendar zaradi svoje velikosti in teže ne morejo proizvajati električne energije.

Razvoj polprevodniške tehnologije je privedel tudi do pojava senzorjev polprevodniškega tlaka. Zanj so značilne majhne velikosti, majhna teža, velika natančnost in dobra temperaturna zmogljivost. Zlasti pri razvoju tehnologije MEMS se polprevodniški senzorji razvijajo v smeri miniaturizacije, nizke porabe energije in visoke zanesljivosti.

Vloga tlačnih senzorjev

1. neposredno uporabljen za merjenje različnih tlakov: zračni tlak, hidravlični tlak, hidravlični tlak (vključno s hidravličnim tlakom), različen krvni tlak v vsakdanjem življenju itd.;

2. Tlačni senzorji se uporabljajo v avtomobilih, nekaterih elitnih motociklih in skoraj vseh motorjih z notranjim zgorevanjem;

3. Raven tekočine: Terenska oprema, ki se uporablja za različne merjenje ravni tekočine, so predvsem tlačni senzorji;

4. Večina elektronskih signalov, ki tehtajo signale, ki tehtajo vozila, prihaja iz tlačnih senzorjev.

Tlačni senzorji se uporabljajo predvsem za nadzor in spremljanje nekaterih aplikacij. V avtomobilski industriji se senzorji tlaka MEMS uporabljajo predvsem za merjenje tlaka goriva, tlaka v pnevmatikah, tlaku zračne blazine in tlaka cevovoda. Na biomedicinskem področju se tlačni senzorji MEMS uporabljajo predvsem v diagnostičnih in zaznavnih sistemih; V vesoljski industriji se tlačni senzorji MEMS uporabljajo predvsem za nadzor položaja vesoljskih plovil in vesoljskih plovil;