Senzor tlaka je eden najpogostejših senzorjev. Tradicionalni senzor tlaka je v glavnem naprava mehanske strukture, deformacija elastičnega dela pa kaže tlak. Vendar pa zaradi svoje velikosti in teže ne morejo proizvajati električne energije.

Razvoj polprevodniške tehnologije je povzročil tudi nastanek polprevodniških tlačnih senzorjev. Odlikujejo ga majhna velikost, majhna teža, visoka natančnost in dobra temperaturna zmogljivost. Predvsem z razvojem tehnologije MEMS se polprevodniški senzorji razvijajo v smeri miniaturizacije, majhne porabe energije in visoke zanesljivosti.

Vloga tlačnih senzorjev

1. Neposredno se uporablja za merjenje različnih tlakov: zračni tlak, hidravlični tlak, hidravlični tlak (vključno s hidravličnim tlakom), različni krvni tlak v vsakdanjem življenju itd.;

2. Senzorji tlaka se uporabljajo v avtomobilih, nekaterih elitnih motociklih in skoraj vseh motorjih z notranjim zgorevanjem;

3. Nivo tekočine: terenska oprema, ki se uporablja za različne meritve nivoja tekočine, so predvsem senzorji tlaka;

4. Večina elektronskih signalov za tehtanje in signalov za tehtanje vozil prihaja iz tlačnih senzorjev.

Senzorji tlaka se uporabljajo predvsem za krmiljenje in spremljanje določenih aplikacij. V avtomobilski industriji se tlačni senzorji MEMS uporabljajo predvsem za merjenje tlaka goriva, tlaka v pnevmatikah, tlaka v zračnih blazinah in tlaka v cevovodih. Na biomedicinskem področju se tlačni senzorji MEMS uporabljajo predvsem v diagnostičnih in detekcijskih sistemih; V vesoljski industriji se tlačni senzorji MEMS uporabljajo predvsem za nadzor vesoljskih plovil in položaja vesoljskih plovil;