Primerno za hitachi KM11 Senzor tlaka olja EX200-2-3-5

Štiri tlačne tehnologije tlačnega senzorja

1. kapacitivni

Kapacitivni tlačni senzorji običajno naklonjeni številnim strokovnim aplikacijam OEM. Zaznavanje sprememb kapacitivnosti med dvema površinama omogoča, da ti senzorji zaznajo izjemno nizko tlačno in vakuumsko raven. V naši značilni konfiguraciji senzorja je kompaktno ohišje sestavljeno iz dveh tesno razporejenih, vzporednih in električno izoliranih kovinskih površin, od katerih je ena v bistvu diafragma, ki se lahko rahlo upogne pod pritiskom. Te trdno pritrjene površine (ali plošče) so nameščene tako, da upogibanje sklopa spremeni vrzel med njimi (dejansko tvori spremenljivi kondenzator). Nastalo spremembo zazna občutljivo linearno primerjalno vezje z (ali ASIC), ki ojača in oddaja proporcionalni signal na visoki ravni.

2.CVD vrsta

Kemična odlaganje hlapov (ali "CVD") proizvodna metoda veže polisilikon plast do membrane iz nerjavečega jekla na molekularni ravni, s čimer ustvari senzor z odličnimi dolgoročnimi zmogljivostmi. Skupna metoda izdelave polprevodnikov serije se uporabljajo za ustvarjanje mostov za merilnike Polysilicon z odličnimi zmogljivostmi po zelo razumni ceni. Struktura CVD ima odlične stroške in je najbolj priljubljen senzor v aplikacijah OEM.

3. Vrsta filma

Odlaganje filma (ali "film") lahko ustvari senzor z največjo kombinirano linearnostjo, histerezo in ponovljivostjo. Natančnost je lahko kar 0,08% polne lestvice, medtem ko je dolgoročni premik vsako leto le 0,06% celotnega obsega. Izredna zmogljivost ključnih instrumentov-naših razpršenih tankih filmskih senzorjev je zaklad v industriji zaznavanja tlaka.

4.MMS Vrsta

Ti senzorji za zaznavanje sprememb tlaka uporabljajo mikro-mamirano silicijevo (MMS) diafragmo. Silicijeva diafragma je izolirana iz medija s 316S-ji, napolnjenimi z oljem, in reagirajo zaporedno s procesnim tlakom tekočine. MMS Senzor sprejme skupno tehnologijo proizvodnje polprevodnikov, ki lahko v kompaktnem senzorskem paketu doseže visoko napetostno odpornost, dobro linearnost, odlično zmogljivost toplotnega udarca in stabilnost.