Struktura piezoresističnega senzorja

V tem senzorju je uporni trak integriran na monokristalno silicijevo diafragmo s postopkom integracije, da se silicijev piezoresistični čip izdela, obrobje tega čipa pa je pritrjeno pakirano v lupini, vodilne elektrode pa se vodijo. Piezoresistivni tlačni senzor, znan tudi kot trdni tlačni senzor, se razlikuje od merilnika lepljivega seva, ki mora zunanjo silo posredno občutiti skozi elastične občutljive elemente, vendar neposredno čuti izmerjeni tlak skozi silikonsko diafragmo.

Ena stran silicijeve membrane je visokotlačna votlina, ki komunicira z izmerjenim tlakom, druga stran pa je nizkotlačna votlina, ki komunicira z atmosfero. Na splošno je silicijeva diafragma zasnovana kot krog s fiksnim periferijo, razmerje med premerom in debelino pa je približno 20 ~ 60. Štiri p nečistoče odpornosti so lokalno razpršeni na krožni silicijevi diafragmi in priključeni na polno most, od katerih sta dva v središču stresa, ki sta v središču stresa, ki sta v sredini stresa.

Poleg tega obstajajo tudi kvadratni senzor silicijeve membrane in silicijevega stolpca. Silicijev valjasti senzor je izdelan tudi iz uporovnih trakov z difuzijo v določeni smeri kristalne ravnine silicijevega valja, dva natezna napetostna uporovna trakova in dva tlačna stresna uporovna trakova tvorita polni most.

Piezoresistični senzor je naprava, ki je narejena z difuzijsko odpornostjo na podlagi polprevodniškega materiala v skladu s piezoresistivnim učinkom polprevodniškega materiala. Njegov substrat se lahko neposredno uporablja kot merilni senzor, difuzijska upornost pa je priključena v podlago v obliki mostu.

Ko se podlaga deformira z zunanjo silo, se vrednosti upora se spremenijo in most bo ustvaril ustrezen neuravnotežen izhod. Substrati (ali diafragme), ki se uporabljajo kot piezoresistivni senzorji, so predvsem silicijeve rezine in nemške rezine. Silicijevi piezoresistični senzorji iz silicijevih rezin kot občutljivih materialov so pritegnili vse več pozornosti, zlasti piezoresistični senzorji za merjenje tlaka in hitrosti so najbolj široko uporabljeni.