Uporablja se za pasatsko gorivo Skupni senzor tlaka 06E906051K

1. metoda za oblikovanje tlačnega senzorja, ki obsega:

Zagotavljanje polprevodniškega substrata, pri katerem se na polprevodniškem substratu tvorijo prvi dielektrični sloj dielektrične plasti, prvi dielektrični plast in druga dielektrična plast.

Spodnja plošča elektrode v prvi dielektrični plasti, ki je bila prva medsebojna elektroda, ki se nahaja na isti plasti kot spodnja plošča elektrode in se razmakne.

Povezovanje plasti;

Tvori žrtveno plast nad spodnjo polarno ploščo;

Tvori zgornjo ploščo elektrode na prvi dielektrični plasti, prvi medsebojni plasti in žrtveni sloj;

Po oblikovanju žrtvene plasti in preden oblikujete zgornjo ploščo, v prvi plasti medsebojne povezave

Tvori priključni utor in napolnite priključni utor z zgornjo ploščo, da se električno povežete s prvim slojem medsebojne povezave; Ali,

Po tvorbi zgornje plošče elektrode nastanejo priključni utori v zgornji plošči elektrode in prvi sloj medsebojne povezave, ki

Tvori prevodno plast, ki povezuje zgornjo ploščo elektrode in prvo plast medsebojne povezave v priključnem utoru;

Po električni priključitvi zgornje plošče in prve plasti medsebojne povezave odstranite žrtveno plast, da tvori votlino.

2. Metoda za oblikovanje tlačnega senzorja v skladu s zahtevkom 1, kjer je v prvi plasti

Metoda za oblikovanje žrtvene plasti na dielektrični plasti medsevnice obsega naslednje korake:

Odlaganje žrtvene materialne plasti na prvi dielektrični sloj medsebojnega sloja;

Takenčenje žrtvene materialne plasti, da tvori žrtveno plast.

3. Metoda za oblikovanje tlačnega senzorja v skladu s zahtevkom 2, kjer se uporabljata fotolitografija in graviranje.

Žrtveni materialni sloj je vzorčen s postopkom jedkanja.

4. Metoda oblikovanja tlačnega senzorja v skladu s zahtevkom 3, kjer žrtvena plast

Material je amorfni ogljik ali germanij.

5. Metoda za oblikovanje tlačnega senzorja v skladu s zahtevkom 4, kjer žrtvena plast

Material je amorfni ogljik;

Jedrski plini, ki se uporabljajo v postopku jedkanja žrtvene materialne plasti, vključujejo O2, CO, N2 in AR;

Parametri v procesu jedkanja žrtvene materialne plasti so: območje pretoka O2 je 18 SCCM ~ 22 Sccm, pretok CO pa 10%.

Hitrost pretoka se giblje od 90 SCCM do 110 SCCM, pretok N2 se giblje od 90 SCCM do 110 SCCM in pretok AR.

Obseg je 90 SCCM ~ 110 SCCM, območje tlaka je 90 mTOR ~ 110 mTOR, moč pristranskosti pa je

540W ～ 660W。