Velja za senzor tlaka skupnega voda goriva Passat 06E906051K

1. Postopek za oblikovanje tlačnega senzorja, ki obsega:

Zagotavljanje polprevodniškega substrata, pri čemer so prva vmesna dielektrična plast, prva vmesna dielektrična plast in druga vmesna dielektrična plast oblikovane na polprevodniškem substratu.

Spodnja elektrodna plošča v prvi vmesni dielektrični plasti, prva skupna elektroda, ki se nahaja na isti plasti kot spodnja elektrodna plošča in je razmaknjena.

Povezovalne plasti;

Oblikovanje žrtvene plasti nad spodnjo polarno ploščo;

Oblikovanje zgornje elektrodne plošče na prvi vmesni dielektrični plasti, prvi medsebojni povezovalni plasti in žrtveni plasti;

Po oblikovanju žrtvene plasti in pred oblikovanjem zgornje plošče, v prvi medsebojni plasti

Oblikovanje priključnega utora in polnjenje povezovalnega utora z zgornjo ploščo za električno povezavo s prvim povezovalnim slojem; ali,

Po oblikovanju zgornje elektrodne plošče se v zgornji elektrodni plošči oblikujejo povezovalni utori in prvi medsebojni povezovalni sloj, ki

Oblikovanje prevodne plasti, ki povezuje zgornjo elektrodno ploščo in prvo medsebojno povezovalno plast v priključnem utoru;

Po električni povezavi zgornje plošče in prve medsebojne povezovalne plasti odstranite žrtveno plast, da nastane votlina.

2. Postopek za oblikovanje tlačnega senzorja po zahtevku 1, pri čemer je v prvem sloju

Metoda za oblikovanje žrtvene plasti na vmesni dielektrični plasti obsega naslednje korake:

nanos žrtvene plasti materiala na prvo vmesno dielektrično plast;

Vzorčenje plasti žrtvenega materiala, da se oblikuje žrtvena plast.

3. Postopek za oblikovanje tlačnega senzorja po zahtevku 2, pri čemer se uporabita fotolitografija in graviranje.

Plast žrtvenega materiala je oblikovana s postopkom jedkanja.

4. Postopek za oblikovanje senzorja tlaka po zahtevku 3, pri čemer je žrtvena plast

Material je amorfni ogljik ali germanij.

5. Postopek za oblikovanje tlačnega senzorja po zahtevku 4, pri čemer je žrtvena plast

Material je amorfni ogljik;

Plini za jedkanje, ki se uporabljajo v procesu jedkanja plasti žrtvenega materiala, vključujejo O2, CO, N2 in Ar;

Parametri v procesu jedkanja žrtvene plasti materiala so: območje pretoka O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM in pretok CO je 10 %.

Stopnja pretoka se giblje od 90 SCCM do 110 SCCM, stopnja pretoka N2 se giblje od 90 SCCM do 110 SCCM, stopnja pretoka Ar.

Območje je 90 SCCM ~ 110 SCCM, območje tlaka je 90 mtor ~ 110 mtor, prednapetostna moč pa je

540w ~ 660w.