Senzor tlaka motorja 2CP3-68 1946725 za bager Carter

1. Postopek za pripravo senzorja tlaka, označen s tem, da obsega naslednje korake:

S1, ki zagotavlja rezino s hrbtno površino in sprednjo površino; Oblikovanje piezoresistivnega traku in močno dopiranega kontaktnega območja na sprednji površini rezine; Oblikovanje tlačne globoke votline z jedkanjem hrbtne površine rezine;

S2, lepljenje podporne plošče na zadnjo stran rezine;

S3, izdelava svinčenih lukenj in kovinskih žic na sprednji strani rezine ter povezovanje piezorezivnih trakov za oblikovanje Wheatstonovega mostu;

S4, odlaganje in oblikovanje pasivacijske plasti na sprednji površini rezine in odpiranje dela pasivne plasti, da se oblikuje kovinsko območje blazinice. 2. Postopek izdelave tlačnega senzorja po zahtevku 1, pri čemer S1 specifično obsega naslednje korake: S11: zagotavljanje rezine s hrbtno površino in sprednjo površino in definiranje debeline na pritisk občutljivega filma na rezini; S12: ionska implantacija se uporablja na sprednji površini rezine, piezorezistivni trakovi so izdelani s postopkom visokotemperaturne difuzije, kontaktna področja pa so močno dopirana; S13: odlaganje in oblikovanje zaščitne plasti na sprednji površini rezine; S14: jedkanje in oblikovanje globoke votline na hrbtni strani rezine, da se oblikuje film, občutljiv na pritisk. 3. Postopek izdelave senzorja tlaka po zahtevku 1, pri čemer je rezina SOI.

Leta 1962 sta Tufte et al. prvič izdelal piezorezivni tlačni senzor z razpršenimi silicijevimi piezorezistenčnimi trakovi in ​​strukturo silicijevega filma ter začel raziskave piezorezistivnih tlačnih senzorjev. V poznih šestdesetih in zgodnjih sedemdesetih letih prejšnjega stoletja je pojav treh tehnologij, in sicer tehnologije anizotropnega jedkanja silicija, tehnologije ionske implantacije in tehnologije anodne vezave, prinesel velike spremembe senzorju tlaka, ki je imel pomembno vlogo pri izboljšanju delovanja senzorja tlaka. . Od leta 1980 se je z nadaljnjim razvojem tehnologije mikroobdelovanja, kot je anizotropno jedkanje, litografija, difuzijsko dopiranje, ionska implantacija, lepljenje in prevleka, nenehno zmanjševala velikost tlačnega senzorja, izboljšala občutljivost, izhod pa je visok in izvedba je odlična. Hkrati razvoj in uporaba nove tehnologije mikroobdelovanja omogočata natančno nadzorovanje debeline filma tlačnega senzorja.