Senzor tlaka motorja 2CP3-68 1946725 za Carter Excavator

Metoda za pripravo tlačnega senzorja, za katero je značilno, da obsega naslednje korake:

S1, ki zagotavlja rezino z zadnjo površino in sprednjo površino; Tvori piezoresistični trak in močno dopirano kontaktno območje na sprednji površini rezine; Tvori tlačno globoko votlino z jedkanjem zadnje površine rezine;

S2, ki veže podporni list na zadnji strani rezine;

S3, izdelava svinčevih lukenj in kovinskih žic na sprednji strani rezin in povezovanje piezoresistivnih trakov, da tvorijo most iz pšeničnega kamna;

S4, odlaganje in oblikovanje pasivacijskega sloja na sprednji površini rezine in odpiranje dela pasivacijske plasti, da tvori površino kovinske blazinice. 2. proizvodna metoda tlačnega senzorja v skladu s trditvijo 1, pri čemer S1 posebej obsega naslednje korake: S11: zagotavlja rezino s hrbtno površino in sprednjo površino ter določi debelino filma, občutljivega na tlak, na rezini; S12: Ionska implantacija se uporablja na sprednji površini rezin, piezoresistivni trakovi se izdelujejo z visokotemperaturnim difuzijskim postopkom, kontaktna območja pa so močno dopirana; S13: odlaganje in oblikovanje zaščitne plasti na sprednji površini rezine; S14: Jedkanica in oblikovanje tlačne globoke votline na zadnji strani rezine, da tvori film, občutljiv na tlak. 3. Metoda proizvodnje tlačnega senzorja v skladu s zahtevkom 1, kjer je rezina SOI.

Leta 1962 sta Tufte in sod. Prvič je izdelal piezoresistivni tlačni senzor z razpršenimi silicijevimi piezoresistivnimi trakovi in ​​silicijevim filmsko strukturo ter začel raziskave o piezoresistivnem senzorju tlaka. V poznih šestdesetih in zgodnjih sedemdesetih letih prejšnjega stoletja je pojav treh tehnologij, in sicer silicijevega anizotropnega jedkanja, tehnologije ionskega implantacije in tehnologije anodnega vezanja, prinesla velike spremembe v senzorju tlaka, ki je igrala pomembno vlogo pri izboljšanju zmogljivosti tlačnega senzorja. Od osemdesetih let prejšnjega stoletja je z nadaljnjim razvojem tehnologije mikromahiniranja, kot so anizotropno jedkanje, litografijo, difuzijsko doping, ionsko implantacija, vezanje in prevleka, velikost tlačnega senzorja, ki se nenehno zmanjšuje, se občutljivost izboljša in izhod je velika, zmogljivost pa je odlična. Hkrati razvoj in uporaba nove tehnologije mikromahinga naredijo debelino filma tlačnega senzorja natančno nadzorovano.